陶瓷加热器(盘)

AlN加热器(盘)具有升温速度快,温度均匀性高及多分区等优良特性。

应用领域:

1.半导体设备,如:共晶机、键合机、涂胶显影机、TCB热压式固晶机、蚀刻设备等;

2.生物医疗及军工。