陶瓷加热器(盘)

技术参数：

     ① 氮化铝热导率:    >180W/m.K

     ② 工作温度:   450℃

     ③ 最高耐温：750℃

应用领域：    

        半导体行业中，晶圆工艺设备

  • 陶瓷加热器（盘）主要材料是AlN，和复杂的钨电路烧结而成，热响应速度快及温度均匀，且可集成温度传感器

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